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3D光學輪廓儀 S neox
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產品名稱: 3D光學輪廓儀 S neox
產品型號: 3D光學輪廓儀 S neox
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產品信息:


D 光學輪廓儀 S neox
最新的S系列3D光學輪廓儀,為您展現全新的3D立體形貌

全新設計的3D光學輪廓儀S neox顛覆傳統,將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術融合于一身,測量頭內無運動部件。

共聚焦
共聚焦技術可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.09um.利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時,共聚焦在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。專利的共聚焦算法保證Z測量重復性在納米范疇。

相位差干涉
相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證亞納米級的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實現超高縱向分辨率的大視場測量。

白光干涉
白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術。它的優勢在于任何放大倍數都可以保證納米的縱向分辨率。

多焦面疊加
多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗,特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該技術的最大亮點是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(最大86°)。此功能對工件和模具測量特別有用。

無運動部件的共聚焦
Sneox系列是采用Sensofar專利設計的Microdisplay共集聚掃描技術。Microdisplay使用FLCOS原理,可實現無需機械運動的快速共聚焦掃描。它具有高速、穩定和無限使用時間的特點。現有的其他品牌共聚焦顯微鏡都采用鏡片震動掃描的方式,因為有機械震動會造成測量時抖動,使用時間也有限。



多波長的LED光源
Sneox有4個獨立的LED光源紅色(630nm),綠色(530nm),藍色(460nm)和白色,可以滿足各種應用的需要。較短的光波長可在測量時獲得最好的水平分辨率。較長的光波長有更好的光學相干性,適合干涉掃描使用。此紅、綠、藍三色LED交替照明的方式還能幫助獲得最真實和高對比度的圖像。

用高分辨率的攝像頭將共聚焦的圖像精彩呈現。
用高速模式掃低反射率的樣品時,3D掃時間將少于3秒。

3D形貌的最新體檢
彩色共聚焦觀察方式使用戶能在視場內觀察到納米級的細節。掃??時用紅、綠、藍三色LED交替照明,獲得三張單色的圖像,最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質量的彩色表面紋理圖 

 薄膜厚度
用分光反射計可以完善地解決薄膜厚度測量。Sneox在增加了分光反射計后可以測量10nm的膜厚和最多10層膜。由于是通過顯微鏡測量,最小的測量點為5um。因為系統里有組合的LED光源,所以實時觀察和膜厚測量能同時進行。

增配SensoPRO或SensoMAP軟件就能輕易實現全自動測量和分析
SensoPRO
有了SensoPRO,在生產線上進行質量管控將變得從未有過的簡單和快速。操作員只需要更換樣品和按開始測量就行。插件式的數據分析模塊能靈活地增減,現在已有特別針對PSS(LED行業)、Bump、深孔、粗糙度、臺階高度、traces和劃痕的分析模組。還能根據客戶的要求定制。

SensoMAP
SensoMAP是基于Mountains的專業形貌分析和報告軟件。它采用模塊化設計,有兩個級別(standard和premium)和多個功能模塊(2D、3D和4D分析、高階輪廓分析、粒度分析、統計和拼接等)可供選擇。

明場 干涉
放大倍數 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
數值孔徑 0.075 0.15  0.30  0.45  0.80  0.90  0.95  0.075 0.13  0.30  0.40  0.55  0.70 
工作距離(毫米) 6.5  23.5  17.5  4.5  1.0  1.0  0.2  10.3  9.3  7.4  4.7  3.4  2.0 
視場范圍1(微米) 7016x5280 3508x2640 1754x1320 877x660 351x264 175x132 117x88 7016x5280 3508x2640 1754x1320 877x660 351x264 175x132
像素分辨率2(微米) 5.16  2.58  1.29  0.65  0.26  0.13  0.09  5.16  2.58  1.29  0.65  0.26  0.13 
光學分辨率3(微米) 1.87  0.93  0.46  0.31  0.17  0.15  0.14  1.87  1.07  0.46  0.35  0.5  0.20 
測量時間4(秒) >3s >3s

系統參數
CCD像素 130x1024 pixels
LED光源 紅(630nm),綠(530nm),藍(460nm),白(550nm)
樣品高度 標準支架40mm,可調支架150mm(更大可定制)
平臺尺寸 最大700*600mm
Z軸移動行程 標準支架40mm,PZT裝置200um
Z軸測量范圍 PSI 20um,ePSI 100um,VSI 10mm,共聚焦10mm,多焦面疊加37mm
Z軸線性度 標準支架<0.5um/mm,PZT裝置<30nm/100um(0.03%)
Z軸分辨率 標準支架2nm,PZT裝置0.75nm
臺階高度重復性 0.10%
臺階精度 0.50%
樣品反射率 0.05% to 100%
顯示分辨率 0.001nm
電源 交流電100-240AC,50/60HZ
電腦配置 最新款INTEL處理器,2560*1440分辨率顯示器(27英寸)
操作系統 Microsoft Windows8 64bits
工作環境 溫度:10-35度,濕度<80%,海拔<2000m

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